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在線測試儀表


                               

根據溫度、膜厚、翹曲測量模塊可選配。各模塊特性與參數:

溫度測量模塊

技術特性:

* 高精度、寬范圍、高一致性

* 抗干擾能力強:能有效抑制由于薄膜干涉效應造成的測溫干擾,能有效抑制由于安裝位置及角度偏差造成的測溫誤差

* 測溫響應速度快,可實現溫度實時控制

* 通過軟件可實時察看盤面單點、多點的溫度 

主要參數:

測溫波長

940nm

數據采樣速率

30kHz

測溫精度

<0.5℃ @700°,黑體爐測試

測溫范圍

450℃-1300℃

重復性

<1℃  ( T>500℃)

通光孔大小

5mm   (150mm距離)(可定制)

儀表出光孔距被測表面距離

<150mm 視場光斑3mm(可定制)

石墨盤旋轉速度

<1200rpm

儀表工作環境溫度

18℃ - 40℃

工作電壓

220VAC


膜厚測量模塊

技術特性:

* 兩波段可選測晶片反射率(940nm波段和635nm波段)

* 可同時測試多點反射率比較

* 可實時計算膜厚生長速率

* 可顯示整爐晶片反射率Mapping值

* 通過軟件可實時察看盤面單點、多點的膜厚數據

主要參數:

波長

635nm(20nm bandwidth) or 940nm

數據采樣速率

30kHz

測試精度

<0.5%

通光孔大小

5mm   (150mm距離)(可定制)

儀表出光孔距被測表面距離

<150mm 視場光斑3mm(可定制)

石墨盤旋轉速度

<1200rpm

儀表工作環境溫度

18℃ - 40℃

工作電壓

220VAC


翹曲測量模塊

技術特性:

* 可實時測量晶片表面傾角

* 可計算每個晶片的翹曲半徑和曲率

主要參數:

翹曲半徑測試范圍

>6m或<-6m

曲率測試范圍

-150km-1 - 150km-1

曲率分辨率

1km-1

數據采樣速率

30kHz

通光孔大小

5mm   (150mm距離)(可定制)

儀表出光孔距被測表面距離

<150mm 視場光斑3mm(可定制)

石墨盤旋轉速度

<1200rpm

儀表工作環境溫度

18℃ - 40℃

工作電壓

220VAC


質量保證:
1、設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。
保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障,我們將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、由技術人員提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、
隨機工具等)。

 

昭信半導體承諾:所有設備出廠前均經過嚴格的質量檢測與功能調試,您可放心選用。

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